一種雙L型梁電容式六維力傳感器設計

摘要： 為設計一款高性能電容式六維力傳感器，結合T型梁和十字型雙直梁的優(yōu)點，構建了一種雙L型結構彈性梁，傳感器轉換元件采用差動結構平行極板電容器以降低傳感器的測量誤差，以轉換矩陣的條件數(shù)為目標函數(shù)，應用粒子群算法與有限元仿真相結合的方法對該傳感器的結構參數(shù)進行優(yōu)化設計，得到最優(yōu)結構參數(shù)后進行仿真，結果顯示該構型的電容式六維力傳感器仿真精度為0.425 8%。最后對該傳感器進行加工與標定... （共7頁）