不同金屬鍍層單晶硅靶板的沖擊受力特性

摘要： 為了探究金屬鍍層對單晶硅靶板抗沖擊性能的影響，建立了金屬/單晶硅復合靶板理論分析模型，分析討論了單晶硅靶板表面的最大應力與鍍層材料動態(tài)屈服應力的關系，應用有限元法在LS-DYNA軟件中對金屬/單晶硅復合靶板進行瞬態(tài)動力學計算，得到了不同金屬鍍層單晶硅靶板沖擊受力后的力學響應。根據(jù)實驗結(jié)果總結(jié)得到金屬鍍層對單晶硅靶板沖擊受力具有一定的抗沖擊效果，能夠延遲和減弱出現(xiàn)在靶板正、背面的... （共7頁）