一次性可編程存儲器的數據保持特性建模及分析

摘要： 基于300 mm 0.18μm MS 5 V工藝平臺設計并流片了1k×16一次性可編程OTP器件，并對存儲單元的結構、工作原理及工藝等可能影響數據保持壽命的因素進行了分析。根據Arrhenius壽命模型對不同樣品設置了高溫老化實驗測試，收集數據并對OTP器件的保持特性進行建模。通過225℃、250℃和275℃條件下的高溫老化加速實驗，擬合樣品最大數據保持時間曲線。在生產過程中可... （共5頁）