空氣氣氛熱處理對Pd膜氫滲透性能的影響

摘要： 為了研究空氣氣氛熱處理對Pd膜氫滲透性能的影響，采用化學(xué)鍍沉積Pd膜，并對在573 K空氣氣氛熱處理前后的Pd膜氫滲透性能進(jìn)行分析評價。用X射線衍射(XRD)、掃描電子顯微鏡(SEM)、原子力顯微鏡(AFM)和氫滲透方法對Pd膜進(jìn)行了表征，結(jié)果表明：沉積態(tài)Pd膜結(jié)構(gòu)致密無缺陷，厚度為5μm左右，Pd膜在673、723、773 K的氫滲透率分別為3.62×10^-9、5.12...