超高真空光學顯微系統(tǒng)的設(shè)計

摘要： 電子顯微鏡等儀器是研究材料微觀形貌的重要工具，常工作在真空環(huán)境。為了快速瞄準電子顯微鏡測量的目標區(qū)域，有必要引入一種輔助光學顯微鏡，直接提供樣品區(qū)域的空間圖像。文章介紹了一種用于超高真空環(huán)境直接觀測的超高真空光學顯微系統(tǒng)的設(shè)計，光學顯微物鏡具有21.8mm的長工作距離，實現(xiàn)了40倍的光學放大和實測橫向1.28μm,縱向1.59μm的高分辨率成像，足以輔助多種電子顯微類儀器裝置搜... （共5頁）