偏振調制掃描光學顯微鏡方法

摘要： 基于反射差分譜原理搭建了適用于二維材料和微納器件的偏振調制掃描光學顯微鏡系統(tǒng),可以實現(xiàn)對于材料或者器件的微米級區(qū)域進行反射差分顯微成像的研究.通過研究兩種典型的二維層狀材料MoS₂和ReSe₂的反射差分顯微成像,發(fā)現(xiàn)相比于傳統(tǒng)的反射顯微鏡,我們搭建的偏振調制掃描光學顯微鏡對于二維材料的層數(shù)特征更敏感,且可以用來表征二維材料的平面光學各向異性.相關研究有助于更進一步理解層狀二... （共9頁）