二次離子質(zhì)譜儀

　　儀器介紹

　　這是用來檢測(cè)材料的一種儀器，即是利用離子束把待分析的材料從表面濺射出來，然后再檢測(cè)出離子組分并進(jìn)行質(zhì)量分析。

　　它是對(duì)微粒進(jìn)行同位素分析的有力工具，但它不能直接分辨同量異位數(shù)和確認(rèn)元素，也難以高效率地在環(huán)境樣品中尋找特定成分的微粒。

　　質(zhì)譜原理

　　Secondary-ion-mass spectroscope （SIMS），是利用質(zhì)譜法分析初級(jí)離子入射靶面后，濺射產(chǎn)生的二次離子而獲取材料表面信息的一種方法。二次離子質(zhì)譜可以分析包括氫在內(nèi)的全部元素，并能給出同位素的信息、分析化合物組分和分子結(jié)構(gòu)。二次離子質(zhì)譜具有很高的靈敏度，可達(dá)到ppm甚至ppb的量級(jí)，還可以進(jìn)行微區(qū)成分成像和深度剖面分析。